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发明名称
摘要
申请公布号	JP2007534149(A)	申请公布日期	2007.11.22
申请号	JP20060527418	申请日期	2004.09.23
申请人		发明人
分类号	H01L21/318;H01L21/28;H01L21/314;H01L21/316;H01L29/51;H01L29/78	主分类号	H01L21/318
代理机构		代理人
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