| 主权项 |
1.一种基板的研磨方法,其特征在于具备有以下步 骤: 在张设有可贴着基板的膜体之膜框上贴着基板,且 将该膜框安装于载具之步骤,或是将张设有可贴着 基板的膜体之膜框安装于载具,且将基板贴着在该 膜框之步骤; 使安装有该膜框之载具与研磨底盘相对接近,将上 述膜体所贴着的基板之研磨面按压在上述研磨底 盘以进行研磨之步骤;以及 在基板结束研磨之后,从上述载具取出上述膜框, 从该膜框取出上述基板之步骤,或是在基板结束研 磨之后,从上述膜框取出上述基板,从上述载具取 出上述膜框之步骤。 2.如申请专利范围第1项之基板的研磨方法,其中, 具有清洗取出上述基板之上述膜框的步骤;及 将所清洗的上述膜框送回与上述基板的贴着位置 之步骤。 3.如申请专利范围第1或2项之基板的研磨方法,其 中,上述基板系藉由供给至上述载具与上述膜框的 膜体之间的加压流体之压力介以该膜体传达并按 压于上述研磨底盘,以进行研磨。 4.一种基板的研磨装置,其特征在于具备有以下构 件: 在张设有可贴着基板的膜体之膜框上贴着基板的 基板贴着台; 将膜框安装在载具上的膜框安装台; 在膜框安装于载具之后,使载具与研磨底盘相对地 接近,在上述膜框所贴着的基板之研磨面按压在上 述研磨底盘以进行研磨的研磨台; 从载具取出膜框之膜框取出台;以及 从膜框取出研磨结束的基板之基板取出台。 5.如申请专利范围第4项之基板的研磨装置,其中具 备有以下构件: 清洗已取出上述基板的上述膜框之清洗台;以及 将在清洗台已清洗的上述膜框送回上述基板贴着 台之膜框搬送手段。 6.如申请专利范围第4或5项之基板的研磨装置,其 中,在上述载具与上述膜框的膜体之间供给加压流 体的研磨用加压流体供给手段系设置于上述载具 。 7.如申请专利范围第4或5项之基板的研磨装置,其 中,上述膜框的膜体系由以下三层构造所构成:在 与上述载具之间保持气密的气密保持层;在保持该 气密保持层之同时具有可承受张设膜体的张力之 特定抗拉强度的强度保持层;以及贴着有上述基板 的平滑层。 8.如申请专利范围第4或5项之基板的研磨装置,其 中,在上述载具与上述膜框的膜体之间供给加压流 体的研磨用加压流体供给手段系设置于上述载具, 上述膜框的膜体系由以下三层构造所构成:在与上 述载具之间保持气密的气密保持层;在保持该气密 保持层之同时具有可承受张设膜体的张力之特定 抗拉强度的强度保持层;以及贴着有上述基板的平 滑层。 9.如申请专利范围第7项之基板的研磨装置,其中, 上述膜体的材质系以芳香族聚醯胺纤维、不锈钢 制金属网、钢金属网、碳纤维、玻璃纤维、尼龙 纤维或与上述材料具有同等的抗拉强度之材料所 制成。 10.如申请专利范围第1项之基板的研磨方法,其中, 藉由对上述膜框的膜体与基板的缘部之边界部供 给流体,使基板从膜框剥离。 11.如申请专利范围第4项之基板的研磨装置,其中, 藉由在上述基板安装台上设有对上述膜框的膜体 与基板的缘部之边界部供给流体使基板从膜框剥 离之剥离用流体供给手段。 12.如申请专利范围第1项之基板的研磨方法,其中, 在将上述膜框安装于上述载具之前,在上述膜框贴 着基板之步骤中具有以下步骤:将基板载置于载置 台的步骤;在载置台所载置的基板上载置膜框的膜 体之步骤;在基板所载置的膜体上按压贴着用滚子 ,并使载置台及贴着用滚子沿着膜体的表面相对移 动,再藉由贴着用滚子将膜体贴着于基板之步骤。 13.如申请专利范围第4项之基板的研磨装置,其中, 在将上述膜框安装于上述载具之前,于上述膜框贴 着基板之研磨装置中,上述基板贴着台具有以下构 件:载置上述基板的载置台、贴着用滚子、及使上 述载置台及上述贴着用滚子相对移动的移动手段, 在载置台上的基板所载置的膜体上按压贴着用滚 子,并藉由移动手段使载置台及贴着用滚子沿着膜 体的表面相对移动,藉由贴着用滚子使膜体贴着在 基板上。 14.如申请专利范围第4项之基板的研磨装置,其中, 上述膜框系介以复数个销装卸自如地与上述载具 连结,该复数个销中特定个数的销系松动自如地安 装在膜框,剩余的销系用以定位在载具上而固定于 膜框。 图式简单说明: 第1图系第1实施形态之研磨装置的全体构造之平 面图。 第2图系研磨衬垫与研磨台的实施形态之侧面图。 第3图系研磨衬垫的组装斜视图。 第4图系膜框的膜体之三层构造的说明图。 第5图系与滑动环相对的膜框之装卸构造的主要放 大剖面图。 第6图系与滑动环相对的膜框之其他装卸构造的主 要放大剖面图。 第7图系与滑动环相对的膜框之其他装卸构造的主 要放大图。 第8图系玻璃基板的搬送装置之概略构造图。 第9图系与载具相对的膜框及玻璃基板之贴着步骤 的说明图。 第10图系使玻璃基板从膜框剥离之剥离步骤说明 图。 第11图系第2实施形态的研磨装置之正面图。 第12图系第11图所示的研磨装置之动作说明图。 第13图系第11图所示的研磨装置之动作说明图。 第14图系第11图所示的研磨装置之动作说明图。 第15图系第11图所示的研磨装置之动作说明图。 第16图系第11图所示的研磨装置之动作说明图。 第17图系第11图所示的研磨装置之动作说明图。 第18图系第11图所示的研磨装置之动作说明图。 第19图系第11图所示的研磨装置之动作说明图。 第20图系第11图所示的研磨装置之动作说明图。 第21图系第11图所示的研磨装置之动作说明图。 第22图系第11图所示的研磨装置之动作说明图。 第23图系第11图所示的研磨装置之动作说明图。 第24图系第11图所示的研磨装置之动作说明图。 第25图系第11图所示的研磨装置之动作说明图。 第26图系第11图所示的研磨装置之动作说明图。 第27图系第11图所示的研磨装置之动作说明图。 第28图系第11图所示的研磨装置之动作说明图。 第29图系第11图所示的研磨装置之动作说明图。 第30图系第11图所示的研磨装置之动作说明图。 第31图系第11图所示的研磨装置之动作说明图。 第32图系第11图所示的研磨装置之动作说明图。 第33图系第11图所示的研磨装置之动作说明图。 第34图系第11图所示的研磨装置之动作说明图。 第35图系与载具相对之膜框的位置定位构造之主 要部分斜视图。 第36图系在第35图所示的定位构造中与销部扣合的 钩部之平面图。 第37图系球形贴着用滚子之构造侧面图。 |
