发明名称 Positionsmesseinrichtung
摘要 Die vorliegende Erfindung betrifft eine Positionsmesseinrichtung zur Erfassung der Relativposition einer Abtasteinheit sowie einer hierzu in mindestens einer Messrichtung beweglichen Reflexions-Maßverkörperung. Die Abtasteinheit umfasst eine Lichtquelle sowie eine Detektoranordnung in einer Detektionsebene. Ferner ist in einer ersten Variante der Abtasteinheit mindestens ein optisches Relektorelement im Abtaststrahlengang angeordnet, welches eine optische Wirkung auf den Abtaststrahlengang dahingehend besitzt, dass der Abstand zwischen einer virtuellen Lichtquelle und der Reflexions-Maßverkörperung einerseits und der Reflexions-Maßverkörperung und der Detektoranordnung/Detektionsebene andererseits identisch ist. In einer zweiten Variante ist in der Abtasteinheit ferner mindestens ein optisches Transmissions-Element im Abtaststrahlengang angeordnet, welches eine optische Wirkung auf den Abtaststrahlengang dahingehend besitzt, dass der Abstand zwischen der Lichtquelle und der Reflexions-Maßverkörperung einerseits und der Reflexions-Maßverkörperung und einer Detektoranordnung in der virtuellen Detektionsebene andererseits identisch ist (Figur 1a).
申请公布号 DE102006021017(A1) 申请公布日期 2007.11.08
申请号 DE200610021017 申请日期 2006.05.05
申请人 DR. JOHANNES HEIDENHAIN GMBH 发明人 BENNER, ULRICH
分类号 G01B11/00;G01D5/36;G01D5/38 主分类号 G01B11/00
代理机构 代理人
主权项
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