摘要 |
Die vorliegende Erfindung betrifft eine Positionsmesseinrichtung zur Erfassung der Relativposition einer Abtasteinheit sowie einer hierzu in mindestens einer Messrichtung beweglichen Reflexions-Maßverkörperung. Die Abtasteinheit umfasst eine Lichtquelle sowie eine Detektoranordnung in einer Detektionsebene. Ferner ist in einer ersten Variante der Abtasteinheit mindestens ein optisches Relektorelement im Abtaststrahlengang angeordnet, welches eine optische Wirkung auf den Abtaststrahlengang dahingehend besitzt, dass der Abstand zwischen einer virtuellen Lichtquelle und der Reflexions-Maßverkörperung einerseits und der Reflexions-Maßverkörperung und der Detektoranordnung/Detektionsebene andererseits identisch ist. In einer zweiten Variante ist in der Abtasteinheit ferner mindestens ein optisches Transmissions-Element im Abtaststrahlengang angeordnet, welches eine optische Wirkung auf den Abtaststrahlengang dahingehend besitzt, dass der Abstand zwischen der Lichtquelle und der Reflexions-Maßverkörperung einerseits und der Reflexions-Maßverkörperung und einer Detektoranordnung in der virtuellen Detektionsebene andererseits identisch ist (Figur 1a).
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