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发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR HEATING AND COOLING SUBSTRATES
摘要
申请公布号 KR100768598(B1) 申请公布日期 2007.10.18
申请号 KR20000054263 申请日期 2000.09.15
申请人 发明人
分类号 H01L21/31;H01L21/324;H01L21/00;H01L21/677 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
主权项
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