| 主权项 |
1.一种切换双识别码验证系统的方法,包括下列步 骤: 提供一机台,上述机台内建一第一识别存取系统, 其中上述第一识别存取系统符合国际半导体设备 暨材料协会(SEMI)之E87标准; 于上述机台安装一第二识别存取系统;以及 利用一切换方法切换执行上述第一识别存取系统 及上述第二识别存取系统。 2.如申请专利范围第1项所述的切换双识别码验证 系统的方法,其中,切换上述系统之步骤中,更包括 下列步骤: 设置一产品变数;以及 根据上述产品变数自动切换执行上述第一识别存 取系统及上述第二识别存取系统。 3.如申请专利范围第1项所述的切换双识别码验证 系统的方法,其中,切换上述系统之步骤中,以人工 方式切换执行上述第一识别存取系统及上述第二 识别存取系统。 4.一种切换双识别码验证系统的方法,包括下列步 骤: 于一机台安装一第一识别存取系统及一第二识别 存取系统; 设置一产品变数; 利用一切换方法切换执行上述第一识别存取系统 或上述第二识别存取系统; 若执行上述第一识别存取系统,则上述机台经由一 第一连结通道发出一存取命令予一机台控制装置, 用以要求上述第一识别存取系统读取一第一识别 存取装置内之晶圆盒识别码; 一主控装置藉由上述第一识别存取系统取得上述 晶圆盒识别码;以及 若执行上述第二识别存取系统,则上述主控装置经 由一第二连结通道,利用上述第二识别存取系统自 一第二识别存取装置取得上述晶圆盒识别码。 5.如申请专利范围第4项所述的切换双识别码验证 系统的方法,其中,切换上述系统之步骤中,更包括 下列步骤: 设置一产品变数;以及 根据上述产品变数自动切换执行上述第一识别存 取系统及上述第二识别存取系统。 6.如申请专利范围第4项所述的切换双识别码验证 系统的方法,其中,切换上述系统之步骤中,以人工 方式切换执行上述第一识别存取系统及上述第二 识别存取系统。 7.如申请专利范围第4项所述的切换双识别码验证 系统的方法,其中,上述第一识别存取系统符合国 际半导体设备暨材料协会(SEMI)之E87标准。 8.如申请专利范围第4项所述的切换双识别码验证 系统的方法,其中,利用上述第二识别存取系统之 步骤中,其更包括下列步骤: 忽略上述第一识别存取系统所取得之上述晶圆盒 识别码资讯及其所产生之事件讯息。 9.如申请专利范围第4项所述的切换双识别码验证 系统的方法,其中,上述第一识别存取系统为使用 单一通信连结(single communication connection)之自动辨 识系统。 10.一种双识别码验证系统,包括: 一第一识别存取装置,用以储存一晶圆盒识别码; 一第二识别存取装置,用以储存上述晶圆盒识别码 ; 一机台控制装置,用以接收上述机台发出之存取命 令; 一主控装置,耦接于上述机台控制装置,用以取得 上述晶圆盒识别码;以及 一控制流程单元,耦接于上述第一识别存取装置、 上述第二识别存取装置、上述机台控制装置以及 上述主控装置,其利用一切换方法决定执行安装于 一机台之一第一识别存取系统或一第二识别存取 系统,若执行上述第一识别存取系统,则上述机台 经由一第一连结通道发出上述存取命令予上述机 台控制装置,用以要求上述第一识别存取系统读取 上述第一识别存取装置内之上述晶圆盒识别码,上 述主控装置藉由上述第一识别存取系统取得上述 晶圆盒识别码,若执行上述第二识别存取系统,则 上述主控装置经由一第二连结通道,利用上述第二 识别存取系统自上述第二识别存取装置取得上述 晶圆盒识别码。 11.如申请专利范围第10项所述的双识别码验证系 统,其中,设置一产品变数,并且根据上述产品变数 自动切换执行上述第一识别存取系统及上述第二 识别存取系统。 12.如申请专利范围第10项所述的双识别码验证系 统,其中,以人工方式切换执行上述第一识别存取 系统及上述第二识别存取系统。 13.如申请专利范围第10项所述的双识别码验证系 统,其中,若上述控制流程单元决定执行上述第二 识别存取系统,则忽略上述第一识别存取系统所取 得之上述晶圆盒识别码资讯及其所产生之事件讯 息。 14.如申请专利范围第10项所述的双识别码验证系 统,其中,上述第一识别存取系统为使用单一通信 连结之自动辨识系统。 15.如申请专利范围第10项所述的双识别码验证系 统,其中,上述第一识别存取系统符合国际半导体 设备暨材料协会(SEMI)之E87标准。 16.一种双识别码验证系统,包括: 一控制流程单元,其利用一切换方法决定执行安装 于一机台之一第一识别存取系统或一第二识别存 取系统,若执行上述第一识别存取系统,则上述机 台经由一第一连结通道发出一存取命令予一机台 控制装置,用以要求上述第一识别存取系统读取一 第一识别存取装置内之上述晶圆盒识别码,内建一 产品识别码表格之一主控装置藉由上述第一识别 存取系统取得上述晶圆盒识别码,若执行上述第二 识别存取系统,则上述主控装置经由一第二连结通 道,利用上述第二识别存取系统自一第二识别存取 装置取得上述晶圆盒识别码,将上述晶圆盒识别码 与上述产品识别码表格中之复数产品识别码进行 比对,若比对结果正确,则继续执行上述制程程序, 否则取消上述制程程序。 17.如申请专利范围第16项所述的双识别码验证系 统,其中,设置一产品变数,并且根据上述产品变数 自动切换执行上述第一识别存取系统及上述第二 识别存取系统。 18.如申请专利范围第16项所述的双识别码验证系 统,其中,以人工方式切换执行上述第一识别存取 系统及上述第二识别存取系统。 19.如申请专利范围第16项所述的双识别码验证系 统,其中,上述第一识别存取系统符合国际半导体 设备暨材料协会(SEMI)之E87标准。 20.如申请专利范围第16项所述的双识别码验证系 统,其中,若上述控制流程单元决定执行上述第二 识别存取系统,则忽略上述第一识别存取系统所取 得之上述晶圆盒识别码资讯及其所产生之事件讯 息。 21.如申请专利范围第16项所述的双识别码验证系 统,其中,上述第一识别存取系统为使用单一通信 连结之自动辨识系统。 图式简单说明: 第1图系显示习知使用分散通信连结之自动辨识系 统之实施流程图。 第2图系显示习知使用单一通信连结之系统之实施 流程图。 第3图系显示安装两套识别码验证系统之机台,并 且利用本发明方法切换识别码系统之示意图。 第4图系显示本发明之双识别码验证系统架构图。 第5图系显示本发明之双识别码验证方法流程图。 |
