| 发明名称 | 微型探针导向装置的制造方法以及微型探针单元 | ||
| 摘要 | 曲折状配置型微型探针单元(40)由上侧微型探针单元(42)和下侧微型探针单元(44)背对组合构成；上侧微型探针单元(42)由具有多个凹槽(72)的微型探针导向装置(70)、以及分别配置于各凹槽(72)的微型探针(50)所构成，下侧微型探针单元(44)也为同样的结构。具有多个凹槽(72)的微型探针导向装置(70)、(71)采用非均质蚀刻的方法，在硅板上以与微型探针(50)、(51)的轴部高度和宽度相对应的槽深、槽宽，形成细长的深槽。 | ||
| 申请公布号 | CN101051056A | 申请公布日期 | 2007.10.10 |
| 申请号 | CN200710095827.5 | 申请日期 | 2007.04.05 |
| 申请人 | 株式会社东京阴极研究所 | 发明人 | 渊山正毅;大贝努;卞秀龙;李芝弘 |
| 分类号 | G01R1/067(2006.01);G01R1/073(2006.01);H01L21/66(2006.01) | 主分类号 | G01R1/067(2006.01) |
| 代理机构 | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人 | 程伟;王锦阳 |
| 主权项 | 1.本发明提供一种微型探针导向装置的制造方法，其为一种保护细长微型探针的微型探针导向装置的制造方法，其特征在于，包括通过非均质蚀刻在基板上形成微型探针导向凹槽的工序，该微型探针导向凹槽具有与微型探针宽度相对应的槽宽、以及为该槽宽2倍以上的槽深。 | ||
| 地址 | 日本东京 | ||