介电层以及形成此介电层之组成物及方法

摘要

一种用以制作介电层之组成物，其包括一种液态的有机金属化合物，用以做为高介电前驱物及其溶剂以及一种感光型或非感光型高分子介质，其中液态的有机金属化合物如Al、Ti、Zr、Ta、Si、Ba、Ge或Hf的金属烷氧化物。此组成物所形成的介电层除了包括感光型或非感光型高分子介质之外，在感光型或非感光型高分子介质中还具有非晶相的金属氧化物。