发明名称 导线架,树脂封装模具以及使用该导线架及树脂封装模具之半导体装置之制造方法
摘要 本发明提供一种导线架,可以免除以往的导线架中,在由模穴区域分开的位置上设有一个排气口,所以树脂模塑时,模穴内的空气无法排出,因而在封装体上产生未充填区域或气孔(void)之问题发生。本发明的导线架中,于排气口形成区域32上形成有第1排气口29、第2排气口30。而且,具有在树脂模模塑时,该第1排气口29的一端系配置于模穴内之特征。因此,树脂塑模时模穴内的空气,可完全排出模穴外。结果,树脂模塑后的封装体上,不会产生未充填区域或气孔,故可提供制品品质优良的半导体装置。
申请公布号 TWI284972 申请公布日期 2007.08.01
申请号 TW091123896 申请日期 2002.10.17
申请人 三洋电机股份有限公司 发明人 落合公;恩田和美
分类号 H01L23/50(2006.01);H01L21/56(2006.01) 主分类号 H01L23/50(2006.01)
代理机构 代理人 洪武雄 台北市中正区博爱路35号9楼;陈昭诚 台北市中正区博爱路35号9楼
主权项 1.一种导线架,其特征在具备: 至少1个晶岛; 以包围上述晶岛之方式配置的一对第1连结条体及 第2连结条体; 由上述第1及第2连结条体延伸于上述晶岛附近的 复数导线; 使上述导线成为一体且以包围上述晶岛之方式配 置的系条;及 形成于上述第1及第2连结条体交叉区域附近的排 气口配置区域, 与位于树脂封装模具之模穴内之导线架之贯通孔 贯通,而贯通至前述排气口配置区域之第1排气口, 以及独立形成于上述第1排气口附近的第2排气口 。 2.如申请专利范围第1项之导线架,其中,上述排气 口配置区域与上述2条系条一体形成,且位于上述2 条系条的交叉区域附近。 3.如申请专利范围第1项之导线架,前述第1排气口 具有形成为比位于与上述模穴之境界之上述贯通 孔之宽度更狭窄之宽度W,上述第1排气口之以上述 宽度W延伸之长度L系形成为长于上述宽度W。 4.如申请专利范围第1或3项之导线架,其中,上述第1 排气口的一部份系包含于树脂封装体形成区域。 5.如申请专利范围第1或3项之导线架,其中,上述第2 排气口相较于上述第1排气口,系形成于与上述晶 岛距离较远的部位,且上述第1排气口与上述第2排 气口系介着形成于上述树脂封装模具的排气沟而 贯通。 6.如申请专利范围第1或3项之导线架,其中,上述第2 排气口系为将空气排出外部的孔。 7.一种树脂封装模具,其特征在具备:由上模及下模 构成,至少可收纳导线架及半导体元件且实质上为 六面体的模穴;及 具有形成于位于上述六面体的隅角部之上述上模 或上述下模的抵接面之排气沟。 8.如申请专利范围第7项之树脂封装模具,其中,于 上述隅角部的至少一端,形成有上述排气沟。 9.如申请专利范围第7或8项之树脂封装模具,其中, 于上述隅角部,由上述上模及下模所推压之上述导 线架上,形成有各自独立的第1排气口及第2排气口, 且上述第1及第2排气口系介着上述排气沟连结。 10.如申请专利范围第9项之树脂封装模具,其中,上 述排气沟系与上述模穴连接地形成,且位于上述第 1排气口的大致上面或下面。 11.如申请专利范围第9项之树脂封装模具,其中,在 由上模及下模构成的模穴中,包含有上述第1排气 口的一部份。 12.如申请专利范围第8项之树脂封装模具,其中,位 于上述模穴侧之上述排气沟的一端系形成于由上 述模穴区域分开的上述抵接面。 13.如申请专利范围第7项之树脂封装模具,其中,于 上述隅角部,由上述上模及下模所推压之上述导线 架上,形成有各自独立的第1排气口及第2排气口,且 上述隅角部的至少1端具有树脂充填注入口,位于 上述模穴侧之上述树脂注入口的一端系形成于由 上述模穴区域分开的上述抵接面,而上述树脂注入 口的一端与上述第1排气口系连接地形成。 14.如申请专利范围第7项之树脂封装模具,其中,与 上述模穴连接设置之上述抵接面的境界周边,系成 为上述上模之抵接面与上述下模之抵接面之分开 距离与上述导线架之厚度相等。 15.一种半导体装置之制造方法,其特征在具备下列 步骤:准备至少一体支持复数条导线,支持上述复 数条导线成为一体之系条,以及形成有与位于树脂 封装模具内之模穴之导线架之贯通孔连通之第1排 气口且载置半导体元件的导线架, 于树脂封装模具中收纳上述导线架,而该树脂封装 模具系具备:由上模及下模构成且实质上为六面体 的模穴;及位于上述六面体之隅角部之上述上模或 下模的抵接面之排气沟,而与上述模穴连接设置之 上述抵接面的境界周边系作成为上述上模之抵接 面与上述下模之抵接面之分开距离与上述导线架 之厚度相等; 令上述模穴内的空气经由上述第1排气口及上述排 气沟而排出于上述模穴外部,且使树脂充填于模穴 内而形成树脂封装体。 16.如申请专利范围第15项之半导体装置的制造方 法,其中,上述导线架具有与上述第1排气口分开,贯 通对应于上述第1排气口外侧之领域而形成之第2 排气口,且上述第1排气口与上述第2排气口系经由 上述排气沟连结。 17.如申请专利范围第15或16项之半导体装置的制造 方法,其中,上述第1排气口的另一端与上述模穴内 连接,且以树脂充填至少上述第1排气口。 18.如申请专利范围第15或16项之半导体装置的制造 方法,其中,上述导线架由上述树脂封装模具脱模 之后,至少上述第1排气口内的树脂会残留于该第1 排气口内,并且在将上述系条切断的步骤中,同时 去除上述第1及第2排气口。 19.如申请专利范围第15或16项之半导体装置的制造 方法,其中,上述导线架由上述树脂封装模具脱模 之后,连续进行将上述系条切断的步骤,以及将上 述导线弯折成所期望的形状的步骤。 20.如申请专利范围第15或16项之半导体装置的制造 方法,其中,上述导线上至少可形成有1层电镀层。 21.如申请专利范围第20项之半导体装置的制造方 法,其中,上述电镀层系以由Pd、Sn、Sn-Pb、Sn-Bi、Sn- Ag、Sn-Cu、Au-Ag、Sn-Ag-Su选择的组合来施行。 22.如申请专利范围第15项之半导体装置的制造方 法,其中,上述隅角部的至少1端具有树脂充填注入 口,位于上述模穴侧之上述树脂充填注入口的一端 系位于由上述模穴分开的上述抵接面,且上述树脂 充填注入口的一端与上述第1排气口相连接,以令 上述树脂由上述第1排气口充填于上述模穴内。 23.如申请专利范围第15项之半导体装置的制造方 法,其中,上述隅角部的至少1端具有树脂充填注入 口,位于上述模穴侧之上述树脂充填注入口及上述 排气沟的一端系位于由上述模穴分开的上述抵接 面,且上述树脂充填注入口的一端与上述第1排气 口相连接,并经由上述第1排气口将上述树脂充填 于上述模穴内,且经由上述第1排气口将上述空气 排出上述模穴。 图式简单说明: 第1图系说明本发明之导线架的平面图。 第2图系说明本发明之导线架的平面图。 第3图(A)至(C)系说明本发明之导线架的平面图。 第4图(A)及(B)系说明本发明第1实施型态之树脂封 装模具的图。 第5图系说明使用本发明第1实施型态之树脂封装 模具而形成的封装体之图。 第6图系说明使用本发明第1实施型态之树脂封装 模具而形成的封装体之图。 第7图(A)及(B)系说明本发明第2实施型态之树脂封 装模具的图。 第8图系说明使用于本发明第2实施型态之树脂封 装模具的导线架之图。 第9图系说明使用本发明第2实施型态之树脂封装 模具而形成封装体之图。 第10图(A)及(B)系说明本发明半导体装置之制造方 法的图。 第11图(A)及(B)系说明本发明半导体装置之制造方 法的图。 第12图系说明本发明半导体装置之制造方法的图 。 第13图系说明本发明半导体装置之制造方法的图 。 第14图系说明本发明半导体装置之制造方法的图 。 第15图(A)及(B)系说明本发明半导体装置之制造方 法的图。 第16图系说明习知半导体装置之制造方法的图。 第17图系说明习知半导体装置之制造方法的图。 第18图系说明习知半导体装置之制造方法的图。
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