发明名称 |
固体摄像装置及其制造方法 |
摘要 |
本发明提供一种固体摄像装置,其可以防止由斜光造成的混色,并且可以减少存在于各像素间的受光灵敏度的偏差。在由半导体基板(11)规定的受光区域中形成:等间隔地以矩阵状形成的多个受光元件(15)、与多个受光元件(15)对应地设于半导体基板(11)上并读出各受光元件(15)所产生的电荷的多个读出电极(13)、将多个读出电极(13)覆盖并且在各受光元件(15)上具有开口区域的遮光膜(17)、设于各受光元件(15)上的开口区域中的第一光波导路(8)、设于遮光膜上的第二光波导路(10)。第二光波导路(10)被制成点、条纹或格子状。 |
申请公布号 |
CN101009295A |
申请公布日期 |
2007.08.01 |
申请号 |
CN200710001642.3 |
申请日期 |
2007.01.09 |
申请人 |
松下电器产业株式会社 |
发明人 |
栗山俊宽;友泽淳 |
分类号 |
H01L27/148(2006.01);H01L21/82(2006.01) |
主分类号 |
H01L27/148(2006.01) |
代理机构 |
中科专利商标代理有限责任公司 |
代理人 |
李贵亮 |
主权项 |
1.一种固体摄像装置,是具有排列于基板上的多个受光部的固体摄像装置,其具备:形成于所述受光部的上方的第一光波导路、形成于所述受光部间的区域的上方的第二光波导路。 |
地址 |
日本大阪府 |