DEVICE FOR THERMAL TREATMENT OF SUBSTRATES,申请号KR20027009638-传众专利搜索

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发明名称	DEVICE FOR THERMAL TREATMENT OF SUBSTRATES
摘要
申请公布号	KR100744215(B1)	申请公布日期	2007.07.30
申请号	KR20027009638	申请日期	2002.07.26
申请人		发明人
分类号	H01L21/324	主分类号	H01L21/324
代理机构		代理人
主权项
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