冷却系统、其运转方法及使用该冷却系统之电浆处理系统

摘要

本发明之冷却系统中，压缩机(1)、热源(2)、热交换器(3)及缓冲槽(4)系依序以配管(5)而连接，以构成封闭回路。封闭回路中，作为冷媒的氮系不接触外面空气而循环。冷媒系空气以外的气体冷媒，且在封闭回路循环时，不用液化，只要从热源(2)吸收热，并在热交换器(3)将该热释放至外部即可。