| 发明名称 |
玻璃蚀刻用紫外线硬化型光阻组成物及玻璃蚀刻处理方法 |
| 摘要 |
一种加工精度高且能够深度加工之玻璃蚀刻处理方法，及适用于该方法之紫外线硬化型光阻组成物。一种玻璃蚀刻用紫外线硬化型光阻组成物，含有：(A)含酸基之树脂、(B)不饱和化合物、(C)光起始剂、(D)含有不饱和基或环氧基之烷氧基矽烷化合物及(E)无机微粉末；及使用该光阻组成物，进行以下制程之玻璃蚀刻处理方法：(1)光阻膜形成制程、(2)曝光制程、(3)显影及加热制程、(4)玻璃蚀刻制程及(5)光阻膜之剥离制程。 |
| 申请公布号 |
TW200727082 |
申请公布日期 |
2007.07.16 |
| 申请号 |
TW095136530 |
申请日期 |
2006.10.02 |
| 申请人 |
关西油漆股份有限公司 |
发明人 |
野阪邦义;片冈泰之;大西贤午;春田直哉 |
| 分类号 |
G03F7/075(2006.01);G03F7/027(2006.01);G03F7/004(2006.01);H01L21/027(2006.01);H01L21/306(2006.01) |
主分类号 |
G03F7/075(2006.01) |
| 代理机构 |
|
代理人 |
周良谋;周良吉 |
| 主权项 |
|
| 地址 |
日本 |
