一种超薄3自由度平面电机

摘要

一种超薄3自由度平面电机，属于半导体装备领域。为提供一种满足光刻设备一面要求高精度一面要求高速度的微动工作台执行元件，本发明公开了一种超薄3自由度平面电机，由线圈组件和永磁体组件组成，包含三组驱动单元，在单层上实现在平面内3个自由度，其中两组驱动单元的驱动轴线平行但不重合，第三组驱动单元驱动轴线与前两组的正交；每组驱动单元包含一个或多个线圈串联、驱动力方向一致的驱动单元，每个驱动单元含有一个沿电机运动平面绕制的线圈和上下两对永磁体。从整体性能而言，本发明所述平面电机具有结构紧凑、推力大、精度高以及可整体实现三自由度运动等优点。

主权项

1.一种超薄3自由度平面电机，所述平面电机由线圈组件和永磁体组件组成，其特征在于：所述平面电机包含三组驱动单元，在单层上实现在平面内3个自由度，其中两组驱动单元的驱动轴线平行但不重合，第三组驱动单元驱动轴线与前两组的正交；每组驱动单元包含一个或多个线圈串联、驱动力方向一致的驱动单元，每个驱动单元含有一个沿电机运动平面绕制的线圈和上下两对永磁体。