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发明名称
摘要
申请公布号
JP3934818(B2)
申请公布日期
2007.06.20
申请号
JP19990076066
申请日期
1999.03.19
申请人
发明人
分类号
H01L29/78
主分类号
H01L29/78
代理机构
代理人
主权项
地址
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