光阻剂组成物

摘要

本发明涉及一种用于制造液晶显示元件的电路、半导体积体电路等微细电路的光阻剂组成物，具体地涉及一种包含(a)酚醛清漆树脂、(b)重氮类感光性化合物、(c)流动性改善剂、(d)灵敏度增进剂、及(e)有机溶剂的感光性组成物。本发明所提出的光阻剂组成物透过使用流动性改善剂及灵敏度增进剂，防止了真空乾燥引起的图案变形、并提高了图案的均匀性，且具有感光速度、残膜率、显影对比度、分辨率、高分子树脂的溶解性、与基板的黏接性，及电路线宽均匀性都优异的特点。