大面积并联高密度感应耦合等离子体源

摘要

本实用新型公开了一种大面积并联高密度感应耦合等离子体源，包括射频电源、匹配网络(或称射频匹配器)、外置感应天线和真空腔体，其特征在于：感应天线首端与匹配网络输出端之间串联第一电感，尾端与接地端之间串联第二电感，第一电感的电感量大于第二电感的电感量，所述第一电感和第二电感的品质因素(Q值)均大于50。由于采用了此种感应天线结构，本装置无需很厚的大尺寸介质板，提高了射频功率的耦合效率，增强了等离子体密度，并改善了感应耦合等离子体的均匀性，并且本实用新型的结构设计与制作简单，成本低廉，具有广泛的产业利用价值，确实为一新颖、进步而且实用的新设计。

主权项

1、一种大面积并联高密度感应耦合等离子体源，包括射频电源、匹配网络、感应天线[8]以及真空腔体[1]；感应天线[8]由2～4组线圈首尾并联构成，每组线圈由3～5匝按平面等距螺旋绕制而成，各组线圈在同一平面内均匀布置；真空腔体[1]为腔体结构，其腔体设有进气口和抽气口分别作为进气通道和抽气通道；腔体上对应感应天线[8]的线圈数量和位置设有2～4个介质窗口，每个介质窗口均由大于线圈直径的石英介质板[5]构成，感应天线[8]浮置在石英介质板[5]上方以此形成外置结构；其特征在于：感应天线[8]首端与匹配网络输出端之间串联第一电感[7]，尾端与接地端之间串联第二电感[6]，第一电感[7]的电感量大于第二电感[6]的电感量，所述第一电感[7]和第二电感[6]的Q值均大于50，其中：Q＝ω·L/R式中：ω为放电频率；L为电感量；R为电感内阻。