| 发明名称 | 抛光液以及抛光Ⅱ－Ⅵ族化合物半导体晶片的方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种抛光液，其组成为：脂肪醇聚氧乙烯醚硫酸钠0.1～0.75g/L、十二烷基苯磺酸钠0.04～0.4g/L、椰子油酸二乙醇酰胺0.02～0.15g/L、溴的体积分数1～2％、其余为无水乙醇。还公开了上述抛光液抛光II－VI族化合物半导体晶片的方法，包括下述步骤：将橡胶垫平铺于抛光盘上，将细磨后的II－VI族化合物半导体晶片固定在抛光装置的支架上，在橡胶垫上滴加抛光液10～30毫升，设定抛光盘转速15～50r/min，对半导体晶片抛光10～120秒，立即用无水乙醇冲洗，再用高纯水冲洗后，于干燥器中存放。本发明利用表面活性使得污物易于清洗，加上橡胶抛光垫的使用，使得抛光面粗糙度由现有技术的50埃以内降低到30埃以内。 | ||
| 申请公布号 | CN1970665A | 申请公布日期 | 2007.05.30 |
| 申请号 | CN200610105133.0 | 申请日期 | 2006.12.07 |
| 申请人 | 西北工业大学 | 发明人 | 马淑英;介万奇;华慧;王涛;杨光昱 |
| 分类号 | C09G1/18(2006.01);H01L21/304(2006.01) | 主分类号 | C09G1/18(2006.01) |
| 代理机构 | 西北工业大学专利中心 | 代理人 | 黄毅新 |
| 主权项 | 1、一种抛光液，其组成为：脂肪醇聚氧乙烯醚硫酸钠0.1～0.75g/L、十二烷基苯磺酸钠0.04～0.4g/L、椰子油酸二乙醇酰胺0.02～0.15g/L、溴的体积分数1～2％、其余为无水乙醇。 | ||
| 地址 | 710072陕西省西安市友谊西路127号 | ||