具有流体密封流路的基板容器

摘要

一种基板容器，包括外罩和形成于外罩上并通过外罩向基板容器内提供流体通路的出入口结构。该出入口结构包括开口和内表面。护孔环位于出入口结构的内表面。

主权项

1.一种基板容器，其特征是包含：具有开放侧面或底部的外罩部分，用于密闭开放侧面或底部的门；门或容器部分之一包含形成于外罩上的第一出入口结构，其提供穿过外罩到达基板容器内部的流体出入口，其中，该出入口结构包括从容器内部通到容器外部的开口，并且，其中该出入口结构具有圆柱形内表面；以及第一弹性护孔环，其具有圆柱形外表面，与出入口结构的圆柱形内表面形成接合。