发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02224337(A) 申请公布日期 1990.09.06
申请号 JP19890045903 申请日期 1989.02.27
申请人 FUJI ELECTRIC CO LTD 发明人 KANEDA HIROKAZU
分类号 H01L29/73;H01L21/329;H01L21/331;H01L29/74 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
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