极紫外激光等离子体光源碎片隔离器

摘要

一种极紫外(EUV)激光等离子体光源碎片隔离器，其特征在于它是一个高速旋转的圆柱体转轮[1]，侧面开有贯穿圆柱体中心的等截面矩形通道[2]，圆柱体转轮[1]安装在靶[3]与光学系统[4]之间，三者处于同一中心水平线上。圆柱体转轮[1]的转轴为垂直方向，并与上述三者中心水平线垂直相交。本发明隔离器工作的初始状态选择在通道[2]中心轴线和中心水平线的夹角等于θ_A的位置。本发明可解决EUV激光等离子体光源在激射靶体时产生的碎片对光学系统的污染问题，对EUV激光等离子体光源在高精度无缺陷多层膜制备、EUV活体生物显微镜、EUV高精度干涉计量和EUV光刻中的应用，具有非常重要的意义。

主权项

1、一种极紫外激光等离子体光源碎片隔离器，其特征在于它是一个高速旋转的圆柱体转轮[1]，圆柱体转轮[1]的侧面开有一个贯穿圆柱体中心的等截面矩形通道[2]，矩形通道[2]的中心轴线通过圆柱体[1]的中心，矩形通道[2]的长边与圆柱体[1]的端面平行，圆柱体转轮[1]的转轴为圆柱体的圆形中心轴；圆柱体转轮[1]安装在靶[3]与光学系统[4]之间，三者处于同一中心水平线上；圆柱体转轮[1]的转轴为垂直方向，并与上述三者中心水平线垂直相交；通道[2]在圆柱体转轮[1]侧壁开口的圆弧尺寸为d1，通道[2]高度为d2，圆柱体转轮[1]高度为D，光源照射光学系统的束斑直径为z：D＞d1＝d2＞z。