电容式超音波换能装置及其制作方法

摘要

本发明系提供一种电容式超音波换能装置及其制作方法。该超音波换能装置系利用多层金属堆叠与研磨技术制作而成之结构。该超音波换能装置之制作方法主要利用金属材料作为牺牲层以及主体结构之材料，经过多次堆叠与研磨后再配合微影以及牺牲层蚀刻之技术以制作出振动所需之腔室以及结构。此外，本发明更在该超音波换能装置之上以金属材料沉积制作出保护凸块以保护该超音波换能装置之主体结构。本发明具有别于传统超音波换能装置之结构外，在制作方法上更省去电极之制作、高温制成以及退火之步骤，使得本发明之超音波换能装置具有制程容易、降低制造成本之优点。此外本发明之超音波换能装置更可整合电子电路装置，以广泛的应用于消费性电子产品、生物医学以及工程之领域。