| 发明名称 |
COOLING STATION OF DIFFUSION EQUIPMENT SUPPRESSING A WAFER MIS-GUIDANCE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR20070042744(A) |
申请公布日期 |
2007.04.24 |
| 申请号 |
KR20050098675 |
申请日期 |
2005.10.19 |
| 申请人 |
SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. |
发明人 |
CHOI, YOUNG JIN |
| 分类号 |
H01L21/68;H01L21/02;H01L23/40 |
主分类号 |
H01L21/68 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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