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发明名称 INSPECTION SYSTEM FOR A MEASURING PLATING LINE WIDTH OF SEMICONDUCTOR REED FRAME AND THEREOF METHOD
摘要
申请公布号 KR100710703(B1) 申请公布日期 2007.04.17
申请号 KR20060039586 申请日期 2006.05.02
申请人 TONGMYONG UNIVERSITY INDUSTRIAL-ACADEMIC COOPERATION FOUNDATION 发明人 KIM, MIN SUNG;KIM, JIN WOOK;LEE, YOUNG IK
分类号 H01L21/66;H01L21/60 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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