| 摘要 |
本发明的目的是提供一种：具有绝佳脱气效率，成本低廉且易于维护管理的脱气装置，及使用该脱气装置的超音波洗净装置。此外，本发明的另一个目的是提供一种：于存在细微汽泡的状态下执行对被洗净物之超音波洗净的超音波洗净装置。为达成上述目的，在本发明中形成洗净液循环通路7，该洗净液循环通路7是在利用循环泵8吸引洗净槽1内之洗净液2而使其循环于预定的路径后，再度回到洗净槽；并将利用空化现象使洗净液中之溶解空气形成汽泡化的脱气装置9连接于上述洗净循环通路的路径途中，利用上述脱气装置9使流动于上述洗净液循环通路7之洗净液中的溶解空气形成汽泡化，并藉由使形成汽泡化的溶解空气与洗净液一起朝洗净槽1内回流，而使经汽泡化的溶解空气从洗净槽的液面排出至槽外。此外，采用螺旋桨式的泵来作为上述的循环泵8，并将洗净液的溶解空气浓度控制成2.5～3.5mg／l的范围。 |
