薄片切断装置及切断方法

摘要

本发明系有关于将黏接薄片S贴附于被工作台13所支撑的晶圆W，并沿着晶圆W的外缘，将黏接薄片S予以切断的薄片切断装置15，该切断装置15系在工作台13贴附有跨越复数个晶圆W之尺寸的黏接薄片S的状态下，由沿着各个晶圆W的外缘，依序将黏接薄片S予以切断的多关节机器人所构成。