基板组装装置和基板组装方法

摘要

为了实现能高速、高精度地在真空中对基板进行粘合的基板粘合装置，由送入粘合前的2块基板的第1室(C1)、对基板进行粘合的第2室(C2)和送出粘合后的基板的第3室构成，能控制上述第1室室内和第3室室内从大气压变成中真空状态，能控制第2室从中真空变成高真空。

主权项

1.一种基板粘合装置，其特征是：具备：设有用于分别送入上下基板的送入机构的第1室；使第1室内从大气压变成中真空状态的真空泵；第2室，其具备在中真空状态从上述送入机构接收2块基板、在高真空状态分别保持2块基板的上台面和下台面，使任意一个台面沿水平方向移动，使上下2块基板对位，使上下任意一个台面上下动作，缩小基板间隔而进行粘合；第3室，其具备在中真空状态将粘合了的基板从第2室送出的送出机构，在大气状态将上述粘合了的基板送出到室外，上述第1室、第2室和第3室分别具备测量各自的室内压力的测量机构，设有控制各腔室的真空度的控制机构。