发明名称 VERFAHREN ZUM HERSTELLEN EINES METALL-KERAMIK- SUBSTRATES
摘要
申请公布号 AT356534(T) 申请公布日期 2007.03.15
申请号 AT19990110347T 申请日期 1999.05.28
申请人 ELECTROVAC AG 发明人 DR.-ING. JUERGEN SCHULZ-HARDER
分类号 H01L21/48;H05K1/03;H05K3/00;H05K3/24;(IPC1-7):H05K3/00 主分类号 H01L21/48
代理机构 代理人
主权项
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