发明名称 清洗系统及其操作方法
摘要 一种清洗系统,适用于清洗检测电极,清洗系统包括套筒、伸缩件及清洗装置。上述,套筒系套接于检测电极之基座上,且套筒内壁与基座贴合,其中套筒侧壁具有至少一第一开孔,以暴露出检测电极之感测部,且套筒底部具有多个第二开孔。另外,伸缩件与套筒连接,以使套筒可上下移动。清洗装置将清洗液注入套筒中,以清洗检测电极。
申请公布号 TW200709286 申请公布日期 2007.03.01
申请号 TW094128568 申请日期 2005.08.22
申请人 力晶半导体股份有限公司 发明人 黄政忠;宋坤森;陈宏苑
分类号 H01L21/30(2006.01) 主分类号 H01L21/30(2006.01)
代理机构 代理人 詹铭文;萧锡清
主权项
地址 新竹市新竹科学工业园区力行一路12号