发明名称 | 清洗系统及其操作方法 | ||
摘要 | 一种清洗系统,适用于清洗检测电极,清洗系统包括套筒、伸缩件及清洗装置。上述,套筒系套接于检测电极之基座上,且套筒内壁与基座贴合,其中套筒侧壁具有至少一第一开孔,以暴露出检测电极之感测部,且套筒底部具有多个第二开孔。另外,伸缩件与套筒连接,以使套筒可上下移动。清洗装置将清洗液注入套筒中,以清洗检测电极。 | ||
申请公布号 | TW200709286 | 申请公布日期 | 2007.03.01 |
申请号 | TW094128568 | 申请日期 | 2005.08.22 |
申请人 | 力晶半导体股份有限公司 | 发明人 | 黄政忠;宋坤森;陈宏苑 |
分类号 | H01L21/30(2006.01) | 主分类号 | H01L21/30(2006.01) |
代理机构 | 代理人 | 詹铭文;萧锡清 | |
主权项 | |||
地址 | 新竹市新竹科学工业园区力行一路12号 |