| 主权项 |
1.一种防护胶膜组件,包含:防护胶膜框体,具有上 侧面与下侧面,呈边长为30cm以上之四边形或直径30 cm以上之圆形;防护胶膜膜片,张设于该防护胶膜框 体的上侧面;及黏接层,于该防护胶膜框体下侧面, 用以贴附该防护胶膜框体与曝光光罩;其特征为: 该黏接层之厚度系为400m以上;且 该黏接层具有将该黏接层自该防护胶膜框体或该 曝光光罩剥离时,不会发生凝集破坏之凝集破断强 度。 2.如申请专利范围第1项之防护胶膜组件,其中该黏 接层之凝集破断强度系以30mm/min的速度拉伸时,为 20g/mm2以上。 3.如申请专利范围第1项之防护胶膜组件,其中该黏 接层系仅由黏接剂所构成。 4.如申请专利范围第1项之防护胶膜组件,其中具有 边长或直径长度为40至150cm的防护胶膜框体。 5.如申请专利范围第1项之防护胶膜组件,其中该黏 接层厚度之范围系于400至2,000m之间。 6.如申请专利范围5项之防护胶膜组件,其中该黏接 层厚度之范围系于400至800m之间。 7.如申请专利范围第3项之防护胶膜组件,其中该黏 接层系以含有选自于由聚丁烯树脂、聚乙酸乙烯 酯树脂、丙烯酸树脂以及矽酮树脂所组成之族群 的树脂之黏接剂所构成。 8.如申请专利范围第7项之防护胶膜组件,其中该黏 接层系为以橡胶成分与矽酮树脂成分形成之矽酮 黏接剂。 9.如申请专利范围第8项之防护胶膜组件,其中该黏 接层系为藉由形成交联构造而提高凝集破断强度 之矽酮黏接剂。 10.如申请专利范围第1项之防护胶膜组件,其中该 防护胶膜框体具有约1至15mm之高度。 11.如申请专利范围第1项之防护胶膜组件,其中该 防护胶膜膜片之膜材系选自于由四氟乙烯与偏氟 乙烯之共聚物、四氟乙烯与六氟丙烯及偏氟乙烯 之三元共聚物、四氟乙烯与具有环状全氟醚基的 含氟单体之共聚物以及具有环状全氟醚基的含氟 单体聚合物等氟系聚合物所组成之族群的聚合物 所构成。 12.如申请专利范围第11项之防护胶膜组件,其中该 防护胶膜膜片之膜材系为非晶质含氟聚合物之四 氟乙烯与具有环状全氟醚基的含氟单体之共聚物, 或者是具有环状全氟醚基的含氟单体之聚合物(赛 脱普(旭硝子股份有限公司制、商品名))。 图式简单说明: 图1系显示防护胶膜组件构成例之说明图。 |
