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发明名称 Heating apparatus of rapid thermal peocessing equipment
摘要
申请公布号 KR20070019054(A) 申请公布日期 2007.02.15
申请号 KR20050072904 申请日期 2005.08.09
申请人 发明人
分类号 H01L21/324 主分类号 H01L21/324
代理机构 代理人
主权项
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