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发明名称 ION IMPLANTER FOR LEVELING THE ENERGY OF IMPLANTED ION
摘要
申请公布号 KR20070016346(A) 申请公布日期 2007.02.08
申请号 KR20050070936 申请日期 2005.08.03
申请人 发明人
分类号 H01L21/265 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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