高灵敏度磁性内置电流传感器

摘要

一种用于无接触地检测电流的传感器，具有传感器元件和检测电路，传感器元件具有磁性隧道结(MTJ)，该传感器元件具有随着磁场变化的电阻，检测电路被设置来检测流过隧道结的隧道电流。该传感器元件可以与存储元件共享MTJ叠置体。而且，其可以提供与下一代CMOS工艺，包括MRAM技术的容易集成，更紧凑，并且使用较少的功率。给出了提高传感器灵敏度的方案，如提供磁通集中器，和利用相同电流产生更高的磁场的方案，如形成L形导体元件。更高的灵敏度使得能够使用更少的后处理，以节省用于例如移动设备的应用的功率。应用包括电流传感器、内置电流传感器、以及IDDQ和IDDT测试，甚至用于下一代CMOS工艺。

主权项

1、一种具有导电元件和电流传感器的半导体器件，其中该电流传感器是用于检测流过该导电元件的直流、改变的或交变的电流的磁性电流检测器件，该电流检测器件被集成在所述半导体器件中，并与该导电元件电绝缘。