发明名称 Method for forming and encapsulating of via hole
摘要
申请公布号 KR100666374(B1) 申请公布日期 2007.01.09
申请号 KR20010001310 申请日期 2001.01.10
申请人 发明人
分类号 H01L21/56;H01L21/28 主分类号 H01L21/56
代理机构 代理人
主权项
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