发明名称 VERFAHREN ZUM HERSTELLEN EINER SPEICHERZELLE
摘要
申请公布号 DE59913986(D1) 申请公布日期 2006.12.28
申请号 DE19995013986 申请日期 1999.07.05
申请人 QIMONDA AG 发明人 WILLER, JOSEF;HOFMANN, FRANZ;SCHLOESSER, TILL;KRAUTSCHNEIDER, WOLFGANG
分类号 H01L21/8242;H01L27/105;H01L21/02;H01L21/8246;H01L27/108 主分类号 H01L21/8242
代理机构 代理人
主权项
地址