发明名称 铜金属的蚀刻液及铜金属的蚀刻方法
摘要 一种铜金属的蚀刻液,包括氧化剂、酸类及水。其中,氧化剂含量范围为1wt%~70wt%,酸类含量范围为1wt%~36wt%。因此,铜金属的蚀刻液具有较快的蚀刻率。
申请公布号 TW200643224 申请公布日期 2006.12.16
申请号 TW094119008 申请日期 2005.06.09
申请人 巴斯夫股份有限公司 发明人 颜子钧
分类号 C23F1/18(2006.01) 主分类号 C23F1/18(2006.01)
代理机构 代理人 詹铭文;萧锡清
主权项
地址 德国