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发明名称
铜金属的蚀刻液及铜金属的蚀刻方法
摘要
一种铜金属的蚀刻液,包括氧化剂、酸类及水。其中,氧化剂含量范围为1wt%~70wt%,酸类含量范围为1wt%~36wt%。因此,铜金属的蚀刻液具有较快的蚀刻率。
申请公布号
TW200643224
申请公布日期
2006.12.16
申请号
TW094119008
申请日期
2005.06.09
申请人
巴斯夫股份有限公司
发明人
颜子钧
分类号
C23F1/18(2006.01)
主分类号
C23F1/18(2006.01)
代理机构
代理人
詹铭文;萧锡清
主权项
地址
德国
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