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发明名称
检验探测系统中平坦性之方法及装置
摘要
本发明揭示一种决定被配置成握持探测装置之第一结构的平坦性与被配置成握持欲探测的装置之第二结构的平坦性之装置。在一装置例子中,复数可移动推杆被布置在装附于第一结构的基底中。在最初未移动位置中,推杆对应于第一结构的平坦性。然后使第二结构接触推杆,移动推杆到对应于第二结构的平坦性之第二位置。在另一装置例子中,光束由布置在第一结构上的反射器反射出并且反射到布置在第二结构上的感应器。感应器上的反射光束之位置被标注并且用于决定第一结构与第二结构的平坦性。
申请公布号
TW200641367
申请公布日期
2006.12.01
申请号
TW095103518
申请日期
2006.01.27
申请人
锋法特股份有限公司
发明人
盖瑞 古鲁柏;汤马士 瓦森
分类号
G01R31/02(2006.01)
主分类号
G01R31/02(2006.01)
代理机构
代理人
林志刚
主权项
地址
美国
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