发明名称 |
具有放电感应电桥的等离子源及利用其的等离子处理系统 |
摘要 |
等离子源具有多个放电感应电桥,该放电感应电桥上耦合了缠绕有变压器的初级线圈的磁芯。放电感应电桥和接受器相对配置。放电感应电桥由中空管构成,当变压器的初级线圈的电流被驱动时,在磁芯中感应到磁束,从而以放电感应电桥为中心形成感应耦合等离子体。通过多个放电感应电桥,等离子放电并列且平均地被感应,可获得高密度、平均且大面积的等离子体。 |
申请公布号 |
CN1870851A |
申请公布日期 |
2006.11.29 |
申请号 |
CN200610084863.7 |
申请日期 |
2006.05.23 |
申请人 |
新动力等离子体株式会社 |
发明人 |
崔大圭;魏淳任 |
分类号 |
H05H1/46(2006.01);H05H1/30(2006.01) |
主分类号 |
H05H1/46(2006.01) |
代理机构 |
中原信达知识产权代理有限责任公司 |
代理人 |
钟强;关兆辉 |
主权项 |
1.一种等离子处理室,其特征在于,包括:室外壳,具有内部放置被处理基板的至少一个接受器;横切室外壳内部设置的多个放电感应电桥;室外壳的多个开口部,连接多个放电感应电桥的两端;变压器,具有在多个放电感应电桥上安装的磁芯和初级线圈;以及和初级线圈电连接的第一电源供给源,其中,通过第一电源供给源驱动初级线圈的电流,从而以放电感应电桥为中心形成感应耦合等离子体,感应出完成变压器的次级电路的室外壳的内侧AC电位。 |
地址 |
韩国京畿道水原市 |