发明名称 |
Semiconductor device and method of manufacturing the same |
摘要 |
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申请公布号 |
EP1345258(A3) |
申请公布日期 |
2006.11.08 |
申请号 |
EP20030250684 |
申请日期 |
2003.02.03 |
申请人 |
FUJITSU LIMITED |
发明人 |
KOMURO, GENICHI;SUEZAWA, KENKICHI |
分类号 |
H01L21/02;H01L27/105;H01L21/311;H01L21/3213;H01L21/8246;H01L27/108;H01L27/115 |
主分类号 |
H01L21/02 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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