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发明名称 Vacuum plasma generator
摘要
申请公布号 EP1701376(B1) 申请公布日期 2006.11.08
申请号 EP20050005248 申请日期 2005.03.10
申请人 HUETTINGER ELEKTRONIK GMBH + CO. KG 发明人 GLUECK, MICHAEL;HOFSTETTER, CHRISTOPH;HINTZ, GERD, DR.
分类号 H01J37/32 主分类号 H01J37/32
代理机构 代理人
主权项
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