发明名称 | 生产管理及良率分析整合之即时管理系统及其处理方法 | ||
摘要 | 一种生产管理及良率分析整合之即时管理系统及其处理方法。加总并平均复数个良率值以求得一历史良率值。选取复数个代表性在线品管特征参数(InlineQCparameter)并执行一统计运算以执行下述判断操作。若该等在线品管特征参数中没有极端值与共线性的参数存在,以及该等在线品管特征参数之残差分析结果符合常态分布,则自在线品管特征参数中选取复数个最佳化之特征参数。计算出该等最佳化特征参数之每一特征参数的权重值,并且根据该历史良率值、该等权重值以及有关该等在制品的复数量测值与复数目标值,计算出一预测良率。 | ||
申请公布号 | TW200638171 | 申请公布日期 | 2006.11.01 |
申请号 | TW094113263 | 申请日期 | 2005.04.26 |
申请人 | 力晶半导体股份有限公司 | 发明人 | 陈建中;王胜仁;何煜文 |
分类号 | G05B19/418(2006.01);G06F17/18(2006.01) | 主分类号 | G05B19/418(2006.01) |
代理机构 | 代理人 | 洪澄文;颜锦顺 | |
主权项 | |||
地址 | 新竹市新竹科学工业园区力行一路12号 |