薄膜压电体元件及其制造方法

摘要

这是在第1基板及第2基板上分别形成具有规定形状的主电极膜、压电体薄膜及对向电极膜，然后在使对向电极膜间对向接合的同时，在外周部形成绝缘性树脂膜，接着，进行第2基板的除去、绝缘性树脂膜的腐蚀加工及形成连接电极片等，然后，除去第1基板，从而得到完全分离的薄膜压电体元件的制造方法。依此，提供可改善形状再现性及防止夹持压电体薄膜的电极间的短路不良、无压电特性偏差、高成品率的薄膜压电体元件及其制造方法。

主权项

1.一种薄膜压电体元件的制造方法，其特征在于，包括以下工序：在第1基板上，以第1主电极膜与第1对向电极膜夹住第1压电体薄膜，配置在所述第1基板侧的所述第1主电极膜的至少一部分在所述第1基板上形成多个具有比所述第1压电体薄膜及所述第1对向电极膜大的形状的第1薄膜图案，在第2基板上，以第2主电极膜与第2对向电极膜夹住第2压电体薄膜，所述第2压电体薄膜、所述第2主电极膜及所述第2对向电极膜在所述第2基板上形成多个具有与所述第1压电体薄膜同样形状的第2薄膜图案，使所述第1薄膜图案与所述第2薄膜图案相互对向重合地进行定位接合、以形成一体化的多个构造体及保护所述构造体的绝缘性树脂膜，仅对第2基板作有选择的除去，使以所述绝缘性树脂膜连接的多个所述构造体露出，对所述绝缘性树脂膜进行腐蚀加工，使形成覆盖除去所述第1主电极膜的一部分的所述构造体的外周部的形状，形成用来将所述第1主电极膜、所述第1对向电极膜、所述第2主电极膜及所述第2对向电极膜与外部设备连接的连接电极片，以及仅对第1基板作腐蚀的除去。