| 发明名称 | 铝基溅射靶 | ||
| 摘要 | 一种主要包含Al的Al基溅射靶的凹面缺陷总数为45000或更少/平方毫米单位表面积，所述的凹面缺陷的最大深度为0.2μm或更大和当量面积直径为0.2μm或更大，所述的单位表面积为相当于溅射面的所述溅射靶表面的单位表面积。另一种Al基溅射靶在该表面上的凹面缺陷总数为15000或更少/平方毫米单位表面积，所述的凹面缺陷的最大深度为0.1μm或更大和当量面积直径为0.5μm或更大。这些溅射靶减少了在它们使用时发生的溅射故障(飞溅和/或弓形)的周期和数量，特别是在它们使用的早期阶段发生的溅射故障(飞溅和/或弓形)的周期和数量。 | ||
| 申请公布号 | CN1847448A | 申请公布日期 | 2006.10.18 |
| 申请号 | CN200610073570.9 | 申请日期 | 2006.04.10 |
| 申请人 | 株式会社神户制钢所 | 发明人 | 高木胜寿;钉宫敏洋;富久胜文 |
| 分类号 | C23C14/34(2006.01);C23C14/14(2006.01) | 主分类号 | C23C14/34(2006.01) |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人 | 陈平 |
| 主权项 | 1.一种主要包含Al的Al基溅射靶，其中，在定义为最大深度为0.1μm或更大和当量面积直径为0.2μm或更大的凹面部分的凹面缺陷中，最大深度为0.2μm或更大的凹面缺陷的总数为45000或更少/平方毫米单位表面积，所述的单位表面积为相当于溅射面的所述溅射靶表面的单位表面积。 | ||
| 地址 | 日本兵库县 | ||