发明名称 method for producing micro-machining switch using pull-up type of cantilever
摘要
申请公布号 KR100633208(B1) 申请公布日期 2006.10.11
申请号 KR20040066941 申请日期 2004.08.24
申请人 发明人
分类号 H01L29/00;H01H59/00 主分类号 H01L29/00
代理机构 代理人
主权项
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