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发明名称 Plasma CVD apparatus and method with self-cleaning capability
摘要
申请公布号 EP1315194(A3) 申请公布日期 2006.10.04
申请号 EP20020258147 申请日期 2002.11.27
申请人 ASM JAPAN K.K. 发明人 FUKUDA, HIDEAKI
分类号 H01J37/32;H01L21/205;C23C16/44;C23C16/455;H01L21/285;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/31 主分类号 H01J37/32
代理机构 代理人
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