| 发明名称 | 基板清洗装置及具有基板清洗装置的基板供给装置 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种基板清洗装置，即使基板表面一部分或整体带静电，也可以容易地清洗附着于基板表面的各种杂质及尘埃等。本发明的基板清洗装置具有移动自如地支承基板的框架和相对该框架旋转自如地安装的辊刷，利用所述辊刷擦拭并清洗所述基板的表面，所述辊刷由导电性刷构成。 | ||
| 申请公布号 | CN1835658A | 申请公布日期 | 2006.09.20 |
| 申请号 | CN200510127066.8 | 申请日期 | 2005.11.30 |
| 申请人 | 小松电子株式会社 | 发明人 | 松田直喜 |
| 分类号 | H05K3/26(2006.01) | 主分类号 | H05K3/26(2006.01) |
| 代理机构 | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人 | 李贵亮;杨梧 |
| 主权项 | 1、一种基板清洗装置，其具有移动自如地支承基板的框架和相对该框架旋转自如地安装的辊刷，利用所述辊刷擦拭并清洗所述基板的表面，其特征在于，所述辊刷是导电性刷。 | ||
| 地址 | 日本石川县 | ||