发明名称 PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5314580(A) 申请公布日期 1978.02.09
申请号 JP19760088161 申请日期 1976.07.26
申请人 HITACHI LTD 发明人 KOSA YASUNOBU;WADA YASUO
分类号 H01L29/78;H01L21/28;H01L21/3205;H01L21/336;H01L21/40;H01L27/04 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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