| 摘要 |
本发明系关于一种侦测一物体(2)动作之系统(1)，该物体包含一第一绕射图案(3A)及相对于该第一绕射图案具有一预定定向之一第二绕射图案(3B)。该系统包含光学构件(4A、4B)，其调适于提供至少一第一入射光束至该第一绕射图案以自该第一绕射图案获得一第一经绕射之光束，且提供相对于该第一入射光束具有一预定定向之至少一第二入射光束至该第二绕射图案以自该第二绕射图案获得一第二经绕射之光束。该系统具有用于基于该第一经绕射之光束及该第二经绕射之光束之至少一者而侦测该物体动作的构件。因此可获得侦测物体(2)动作之一较大的平面内旋转范围。本发明亦涉及一种具有二维绕射图案(3A、3B)之晶圆(2)及一种侦测一物体动作之方法。 |
