| 主权项 |
1.一种高真空卷式镀膜机构,主要包含有两真空腔 体及至少一组以上的溅镀装置所构成;其中, 真空腔体系以腔室及一盖体所构成,腔室内部设置 有卷布轴、传动轴、滚轴、校正卷轴及张力控制 卷轴等带动及输送被镀素材之机构,两真空腔体内 部皆设有卷布轴,该卷布轴系将被镀素材固定设置 ,被镀素材为成卷绕设于卷布轴,被镀素材系分别 绕经传动轴、滚轴、校正卷轴、张力控制卷轴,并 进入溅镀装置内进行溅镀作业,以提供被镀素材具 有单面或是双面的镀膜层,经过高压放电溅镀的被 镀素材再经张力控制卷轴、校正卷轴的中心校正 、整平后将完成镀附薄膜之被镀素材卷收成卷。 2.如申请专利范围第1项所述之高真空卷式镀膜机 构,其中卷布轴两端设置有齿轮,其与设于腔室内 壁上之齿轨呈啮合对接,卷布轴可因应所卷绕被镀 素材之卷径大小而于齿轨上调整移动设置位置。 3.如申请专利范围第1项所述之高真空卷式镀膜机 构,其中校正卷轴至张力控制卷轴之间设置有加热 器。 4.如申请专利范围第1项所述之高真空卷式镀膜机 构,其中经过高温镀附有薄膜的被镀素材在镀膜制 程中,必须经由冷却装置加以冷却降温,以确保素 材与镀膜品质。 5.如申请专利范围第1项所述之高真空卷式镀膜机 构,其中该溅镀装置系以一组以上的溅镀装置构成 ,利用模组化方式提供被镀素材表面具有至少一层 以上的镀膜层。 图式简单说明: 第一图所示系本创作之外观立体图。 第二图所示系本创作由另一角度视得之外观立体 图。 第三图所示系本创作真空腔体内部结构立体图。 第四图所示系本创作另一真空腔体内部结构立体 图。 第五图所示系本创作卷式镀膜制造流程示意图。 第六图所示系本创作张力调整装置示意图。 第七图所示系本创作张力调整装置于控制中之角 度变化状态示意图。 第八图所示系本创作以两组以上的溅镀装置组成 状态示意图。 |
