| 摘要 |
本发明系一种检查设备，这种检查设备具有一个检查头，这个检查头可以在至少两个方向上对一个盛放待检查的基片用的导引底座作相对移动，其中基片至少具有两个被印刷上去的镀层，而且这至少两个镀层是以部分重叠的方式被依序镀上去的。检查头具有一个照明装置及一个探测装置，这个探测装置的任务是探测被基片反射的电磁辐射或是穿过基片的电磁辐射，并将探测结果传送到一个辨识装置，这个辨识装置可以辨识出基片(30)的缺陷。在某些情况下检查设备(12)设有一个以圆锥形方式逐渐扩展的隧道(24)，且在隧道(24)的内壁上设有许多发光单元。探测装置(14)具有一部带有镜头的数位相机(18)，数位相机(18)能够分辨出基片(30)上小于30微米的尺寸，移动装置能够控制在一个摄影循环中导引底座(32)及检查头(12)之间的相对移动，在一个摄循环中，彼此连接在一起或是重叠的单一影像在一个摄影循环中会组成基片(30)的总影像。 |
