平面显示器之阶梯式接触窗之制作方法

摘要

一种平面显示器之阶梯式接触窗之制作方法，其步骤包括：提供一具有一第一导电层、一绝缘层及一光阻层之基板，形成复数个阶梯结构于该光阻层，蚀刻复数个阶梯结构于该绝缘层，形成一第二导电层于该第一导电层及该绝缘层之上等步骤，利用上述平面显示器之阶梯式接触窗之制作方法，于该绝缘层厚度较大、该绝缘层具有一不连续界面或该第二导电层之厚度有所限制之状况下，由于该绝缘层之该复数个阶梯结构提供较为平缓之爬坡构型，因此可大幅降低该第二导电层爬坡断线之情况。